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超快激光双光子微纳加工技术是一种基于双光子吸收效应的微纳3D打印技术，能够突破传统光刻技术在精度与效率之间的矛盾，实现从纳米到百微米尺度的跨尺度结构制备。该技术无需掩模，具备高精度、真三维、材料适应性广等特点，广泛应用于半导体、科学生命、微机电系统、光学器件、材料工程等领域。团队经过二十余年持续攻关，已实现从基础研究到装备研制的全链条技术突破，具备自主知识产权的无掩模超衍射数字纳米光刻装备，技术指标国际领先。

1、双光子聚合（TPP）技术：基于超快激光的双光子吸收效应，实现亚百纳米级分辨率的三维结构加工，突破传统光刻在复杂结构制备中的限制。

2、跨尺度加工能力：可同时实现10 nm至100 μm尺度的结构加工，效率提升可达10^5倍，显著提升微纳制造的综合能力。

3、无掩模超衍射数字光刻：无需掩模，具备低成本、高效率、高灵活性的特点，适用于前沿科学研究与高技术产品研发。

4、装备自主研制：团队自主研发出激光直写、面投影、跨尺度加工等多种微纳加工装备，并面向高校和研究所开放共享。

1、半导体与微电子：可用于光刻掩模版、达曼光栅、透明网格电极等关键元器件的制备，满足高精度图形化需求。

2、科学生命与医疗：应用于细胞支架、微管打孔、病毒与细胞操控等场景，支撑生物医学研究。

3、微机械与MEMS：实现微致动器、微机器人、多微球捕获等功能结构，有助于微系统集成开展。

4、硬脆材料加工：可在金属、陶瓷等硬脆材料表面制备微结构，拓展其在超疏表面、裂纹控制等方面的应用。

1、装备研发：已成功研发出多代微纳加工装备，具备从原理样机到产业化装备的完整技术链条。

2、技术应用：相关成果已在Nat. Commun.、Nano Lett.、Adv. Funct. Mater.等高水平期刊发表论文140余篇，授权专利13项。

3、行业认可：获“2022年中国光学十大进展”奖、2023-2025年“微纳制造成果优秀奖”等多项荣誉。

4、合作案例：与相关研究所等单位合作，成功开发光纤探针表面等离子共振传感器、微流控芯片等应用产品。